国外电子与通信教材系列芯片制造/半导体工艺制程实用教程(第六版)(英文版)
|
国外电子与通信教材系列芯片制造/半导体工艺制程实用教程(第六版)(英文版)作者：PeterVanZant（彼得·范·赞特 开 本：其他 书号ISBN：9787121243783 定价： 出版时间：2020-03-01 出版社：电子工业出版社 |
Manual Hot Plates 187
In-Line, Single-Wafer Hot Plates 187
Moving-Belt Hot Plates 187
Moving-Belt Infrared Ovens 188
Microwave Baking 188
Vacuum Baking 188
Alignment and Exposure 189
Alignment and Exposure Systems 189
Exposure Sources 191
Alignment Criteria 191
Aligner Types 193
Postexposure Bake 196
Advanced Lithography 198
Review Topics 198
References 198
9 The Ten-Step Patterning Process—Developing to Final Inspection 201
Introduction 201
Development 201
Positive Resist Development 201
Negative Resist Development 203
Wet Development Processes 203
Dry (or Plasma) Development 206
Hard Bake 207
Hard-Bake Methods 207
Hard-Bake
教材 研究生/本科/专科教材 工学
在线阅读
- 最新内容
- 相关内容
- 网友推荐
- 图文推荐
上一篇：机械制造工艺与装备(第3版)/倪森寿
下一篇：服装成衣制作工艺
零零教育社区：论坛热帖子
| [高考] 2022 西安电子科技大学《软件工程》大作业答案 (2022-04-25) |
| [家长教育] 孩子为什么会和父母感情疏离？ (2019-07-14) |
| [教师分享] 给远方姐姐的一封信 (2018-11-07) |
| [教师分享] 伸缩门 (2018-11-07) |
| [教师分享] 回家乡 (2018-11-07) |
| [教师分享] 是风味也是人间 (2018-11-07) |
| [教师分享] 一句格言的启示 (2018-11-07) |
| [教师分享] 无规矩不成方圆 (2018-11-07) |
| [教师分享] 第十届全国教育名家论坛有感（二） (2018-11-07) |
| [教师分享] 贪玩的小狗 (2018-11-07) |
