5．4．1 振动研磨技术 160
5．4．2 超声振动珩磨技术 162
5．5 磁化切削技术 163
5．5．1 磁化切削的概念 163
5．5．2 磁化切削的形式和工作原理 163
5．5．3 磁化切削的工艺效果 165
5．5．4 磁化切削机理探讨 165
5．6 加热切削技术 166
5．6．1 加热切削的概念 166
5．6．2 加热切削的发展 166
5．6．3 加热切削机理探讨 167
5．6．4 加热切削的关键技术与工艺 170
5．6．5 加热切削的应用 173
5．7 低温切削技术 174
5．7．1 低温切削的概念 174
5．7．2 低温切削的发展 174
5．7．3 低温切削的特点 175
5．7．4 低温切削的分类 176
5．7．5 低温切削的应用 177
5．8 电解机械复合加工技术 178
5．8．1 电解磨削技术 178
5．8．2 电解珩磨技术 180
5．8．3 电解研磨复合光整加工技术 181
5．9 超声电火花（电解）复合加工技术 185
5．9．1 超声电火花复合加工技术 185
5．9．2 超声电解复合加工技术 186
5．10 电解电火花磨削加工技术 188
5．10．1 MEEC法 188
5．10．2 新MEEC法 189
5．11 其他复合加工方法简介 191
5．11．1 电火花磨削 191
5．11．2 化学机械研磨 192
5．11．3 超声数控分层仿铣加工技术 193
5．11．4 断续磨削-机械脉冲放电复合加工技术 194
5．11．5 超声振动辅助气中放电加工 195
复习思考题 196
第6章 微细加工技术 197
6．1 概述 197
6．1．1 微细加工的概念 197
6．1．2 微细加工的特点 198
6．2 微细加工机理 198
6．2．1 微切削去除机理 198
6．2．2 原子、分子加工单位的微细加工机理 200
6．3 微细加工方法 201
6．3．1 微细加工方法的分类 201
6．3．2 微细加工的基础技术 202
6．3．3 硅微细加工技术 202
6．3．4 光刻加工技术 203
6．4 LIGA技术及准LIGA技术 205
6．4．1 LIGA技术原理 205
6．4．2 准LIGA技术 207
6．4．3 LIGA技术及准LIGA技术的应用 208
6．5 微细加工技术应用 208
6．6 生物加工技术 213
6．6．1 生物加工简介 213
6．6．2 生物加工分类 213
6．6．3 生物加工的特点 214
复习思考题 215
第7章 纳米加工技术 216
7．1 概述 216
7．1．1 基本概念 216
7．1．2 纳米材料 216
7．1．3 纳米加工 219
7．1．4 纳米加工的关键技术 221
7．1．5 纳米技术的应用前景 222
7．2 基于SPM的纳米切削加工 223
7．2．1 扫描探针显微镜的工作原理 223
7．2．2 扫描探针显微技术的关键技术和特点 225
7．2．3 扫描探针显微技术用于纳米切削加工 225
7．3 纳米器件与DNA单分子加工 226
7．3．1 原子排列 226
7．3．2 分子排列与分子开关 227
7．3．3 纳米器件 228
7．3．4 DNA单分子操纵 232
7．4 碳纳米管 233
7．4．1 单根碳纳米管的操纵 233
7．4．2 碳纳米管的机械特性 235
7．4．3 碳纳米管的应用 236
复习思考题 238
第8章 绿色加工技术 240
8．1 概述 240
8．1．1 绿色加工的定义及分类 240
8．1．2 绿色加工的研究内容 241
8．1．3 绿色加工的发展 241
8．2 绿色加工基本理论 243
8．2．1 绿色加工的基本特征 243
8．2．2 绿色加工的基本程序 244
8．2．3 评价指标体系 246
8．3 干式切削技术 247
8．3．1 干式切削的特点 247
8．3．2 干式切削的实施条件 248
8．3．3 实施干式切削的方法 255
8．4 准（亚）干式切削技术 258
8．4．1 微量润滑切削技术 258
8．4．2 其他准（亚）干切削技术 260
8．5 干式磨削技术 261
8．5．1 干式磨削的特点 261
8．5．2 干式磨削的实施条件 261
8．5．3 强冷风干式磨削 261
8．5．4 点磨削 262
8．6 准干式磨削技术 263
8．7 快速成型技术 264
8．7．1 概述 264
8．7．2 快速成型的工艺方法 266
8．7．3 3D打印技术 271
8．8 其他绿色加工工艺技术 274
8．8．1 直接成型技术 274
8．8．2 少（无）切削加工技术 277
8．8．3 高压水射流切割技术 280
复习思考题 280
第9章 难加工材料和难加工结构的加工技术 282
9．1 概述 282
9．1．1 材料的切削加工性 282
9．1．2 难加工材料 283
9．1．3 难加工结构 288
9．2 难加工材料的加工技术 288
9．2．1 钛合金加工 288
9．2．2 高温合金加工 290
9．2．3 不锈钢加工 293
9．2．4 高强度钢和超高强度钢加工 295
9．2．5 复合材料加工 298
9．2．6 硬脆性材料加工 301
9．3 难加工结构的加工技术 303
9．3．1 薄壁件的加工 303
9．3．2 叶片及涡轮盘的加工 306
9．3．3 阵列孔及微孔的加工 310
复习思考题 313
参考文献 314

普通高等教育机电类十三五规划教材现代加工技术/肖继明 作者简介

肖继明，西安理工大学机械与精密仪器工程学院教授，硕士生导师。教授精密加工（研究生）、机械制造技术（基础）及现代加工技术（本科生）等课程，并从事振动切削及深孔加工技术、金属切削机理及刀具表面改性技术、金属切削过程状态监控技术、计算机辅助设计及制造技术等方面的研究工作。

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