微机电器件设计.制造及计算机辅助设计
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微机电器件设计.制造及计算机辅助设计作者：郭占社 开 本：32开 书号ISBN：9787512421097 定价： 出版时间：2016-05-01 出版社：北京航空航天大学出版社 |
6．5 Microscopicmorphologytestingmethod ………………………………………… 211
6．6 Summary ……………………………………………………………………………… 212
References…………………………………………………………………………………… 212
Chapter7 Applicationexamplesofthefiniteelementmethodinthedesignof
MEMSdevices …………………………………………………………………… 218
7．1 Importantconceptsofthesoftware………………………………………………… 218
7．2 IntroductionoftheAnsyssoftwareinterface……………………………………… 220
7．3 ThecoordinatesysteminAnsys …………………………………………………… 221
7．4 Engineeringexamples ……………………………………………………………… 226
7．4．1 StaticanalysisofsingleGclampedbeam ……………………………………… 226
7．4．2 ModalanalysisofdoubleGclampedbeam ……………………………………… 245
7．4．3 CapacitanceanalysisofMEMSelectrostaticcombfingersdrive …………… 257
7．4．4 Fatiguestrengthcalculationexample ………………………………………… 264
7．5 Summary ……………………………………………………………………………… 272
教材 研究生/本科/专科教材 工学
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