射频等离子体物理学 本书特色

 　　针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前*重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的*新进展及相关技术问题。作者在书中精心设计了超过100道习题，有利于读者深入了解掌握所涉及的基本概念。

射频等离子体物理学 目录

 第1章概论　1．1等离子体　1．2微电子学中的等离子体工艺　1．3等离子体推进　1．4射频等离子体：e，h和w模式　1．5  内容简介第2章等离子体动力学与平衡　2．1微观描述　2．2宏观描述　2．3整体粒子和能量平衡　2．4电动力学描述　2．5本章总结第3章有界等离子体　3．1空间电荷鞘层区　3．2等离子体／鞘层过渡　3．3等离子体区：输运模型　3．4本章总结第4章射频鞘层　4．1响应时间　4．2离子动力学　4．3电子动力学　4．4(高频)rf鞘层的解析模型　4．5重要结果归纳第5章单频容性耦合等离子体　5．1恒定离子密度下电流驱动的对称模型　5．2非均匀离子密度的电流驱动模型　5．3整体模型　5．4其他放电参数范围及放电位形　5．5重要结果归纳第6章多频容性耦合等离子体　6．1静电近似下的双频ccp　6．2高频情况下的电磁模式　6．3重要结果归纳第7章感性耦合等离子体　7．1  电磁模型　7．2等离子体自身的阻抗　7．3变压器模型　7．4纯感性放电的功率转换效率　7．5容性耦合　7．6整体模型　7．7重要结果归纳　7．8进一步考虑第8章螺旋波等离子体　8．1在无界等离子体中的平行传播　8．2柱状等离子体中传播的螺旋波　8．3螺旋波模式存在的条件　8．4波功率的吸收：加热　8．5 e-h～w模式转换　8．6重要结果归纳第9章真实等离子体  9．1高密度等离子体  9．2磁化等离子体  9．3电负性等离子体  9．4扩展等离子体第10章电测量　10．1静电探针　10．2用于射频等离子体的静电探针　10．3减速场分析器　10．4共振及波诊断　10．5重要结果归纳附录：习题解参考文献

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