MEMS系统级建模 本书特色

　　《MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛》是目前国内外叙述微机电系统（MEMS）系统级建模的专著。
　　MEMS技术发展对快速、高效及合适的设计工具提出了迫切需求，以便优化包括MEMS元件、控制和读出电路以及封装在内的完整系统性能。针对系统设计及优化需求，《MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛》全面论述了MEMS系统级建模技术，内容共分五部分。*部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础，包括广义基尔霍夫网络理论基础，模型降阶技术的理论背景，系统级仿真算法以及协同仿真。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术，包括基于矩匹配的线性模型降阶技术及其在电热模型中的应用，基于投影的模型降阶技术及其在微流体、RF MEMS开关等模型中的应用，基于模态叠加的非线性模型降阶技术及其在MEMS陀螺仪模型中的应用，静电执行器的线性与非线性模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模，包括含有压电换能器、电源管理和储能组件的能量收集模块的系统级模型，含有电路的RF MEMS开关和谐振器的系统级模型，含有加速度计、数字控制器、RF收发器及电池的系统级模型，含有加速度计、陀螺仪及∑△调制器的系统级模型。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境，包括Coventor软件的MEMS ，ANSYS软件的MOR for ANSYS，SUGAR，IntelliSuite软件的SYNPLE，MEMS Pro软件的SoftMEMSMS，及网络共享的设计方法。　　《MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛》是目前国内外叙述微机电系统（MEMS）系统级建模的专著。
　　MEMS技术发展对快速、高效及合适的设计工具提出了迫切需求，以便优化包括MEMS元件、控制和读出电路以及封装在内的完整系统性能。针对系统设计及优化需求，《MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛》全面论述了MEMS系统级建模技术，内容共分五部分。*部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础，包括广义基尔霍夫网络理论基础，模型降阶技术的理论背景，系统级仿真算法以及协同仿真。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术，包括基于矩匹配的线性模型降阶技术及其在电热模型中的应用，基于投影的模型降阶技术及其在微流体、RF MEMS开关等模型中的应用，基于模态叠加的非线性模型降阶技术及其在MEMS陀螺仪模型中的应用，静电执行器的线性与非线性模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模，包括含有压电换能器、电源管理和储能组件的能量收集模块的系统级模型，含有电路的RF MEMS开关和谐振器的系统级模型，含有加速度计、数字控制器、RF收发器及电池的系统级模型，含有加速度计、陀螺仪及∑△调制器的系统级模型。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境，包括Coventor软件的MEMS ，ANSYS软件的MOR for ANSYS，SUGAR，IntelliSuite软件的SYNPLE，MEMS Pro软件的SoftMEMSMS，及网络共享的设计方法。
　　《MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛》由来自8个国家的44名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合微机电系统专业、微电子技术专业、半导体技术专业、传感器技术专业、机械工程专业、仪器仪表专业、物联网技术专业等领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读和参考。

MEMS系统级建模 内容简介

本书论述了MEMS系统级建模技术, 内容共分五部分。**部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境。

MEMS系统级建模 目录

**部分 物理和数学基础
l 微系统建模概论
1．1 微系统的系统级模型需求
1．2 耦合多物理场微系统
1．3 多尺度建模与仿真
1．4 系统级模型术语
1．5 自动化模型降阶方法
1．6 复杂问题处理：参考VLSI范式
1．7 模拟硬件描述语言
1．8 系统级模型的一般属性
1．9 AHDL的仿真能力
1．10 可组合模型库
1．11 参数提取、模型验证和模型确认
1．12 总结
参考文献
2 利用广义基尔霍夫网络理论的MEMS系统级建模——基本原理
2．1 引言
2．2 微系统特定系统级建模的广义基尔霍夫网络
2．2．1 微器件及系统的通用建模方法
2．2．2 从连续场到宏模型
2．2．3 宏模型推导方法
2．3 应用1：基于物理的静电驱动泵的电流体宏模型
2．3．1 膜驱动的宏模型
2．3．2 阀的宏模型
2．3．3 管道的系统级模型
2．3．4 基于物理的微泵系统级模型
2．3．5 模型校准和参数提取
2．4 应用2：静电驱动RF MEMS开关
2．5 总结
参考文献
3 利用模型降阶法的MEMS系统级建模——数学背景

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