3．1 引言
3．2 概述
3．3 数学基础
3．3．1 标量、矢量和矩阵
3．3．2 向量空间、子空间、线性无关和基
3．3．3 拉普拉斯变换
3．3．4 有理函数
3．3．5 范数
3．4 数值算法
3．5 线性系统理论
3．5．1 传递函数
3．5．2 对任意两个不同LTI系统间偏差的测量
3．5．3 可控性和可观性
3．5．4 实现理论
3．5．5 系统的稳定性和无源性
3．6 模型降阶方法的基本思想
3．7 矩匹配模型降阶方法
3．7．1 矩和矩向量
3．7．2 投影矩阵W和V的计算
3．7．3 展开点的不同选择
3．7．4 矩匹配MOR方法的发展
3．8 基于Gramian矩阵的模型降阶方法
3．8．1 平衡截断法的动机
3．8．2 平衡变换
3．8．3 截断
3．8．4 平衡变换的计算
3．8．5 计算Gramian矩阵的加速方法
3．8．6 扩展到更普遍的系统
3．9 降阶模型的稳定性、无源性和误差估计
3．9．1 矩匹配MOR方法的稳定性、无源性和误差界
……

第二部分 MEMS器件的集总单元建模方法
第三部分 MEMS器件的数学模型降价
第四部分 完整微系统建模
第五部分 软件实现

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