机械设计手册 微机电系统及设计 本书特色

《机械设计手册》第6版 单行本共26分册，内容涵盖机械常规设计、机电一体化设计与机电控制、现代设计方法及其应用等内容，具有系统全面、信息量大、内容现代、突显创新、实用可靠、简明便查、便于携带和翻阅等特色。各分册分别为：《常用设计资料和数据》《机械制图与机械零部件精度设计》《机械零部件结构设计》《连接与紧固》《带传动和链传动摩擦轮传动与螺旋传动》《齿轮传动》《减速器和变速器》《机构设计》《轴弹簧》《滚动轴承》《联轴器、离合器与制动器》《起重运输机械零部件和操作件》《机架、箱体与导轨》《润滑密封》《气压传动与控制》《机电一体化技术及设计》　《机电系统控制》《机器人与机器人装备》《数控技术》《微机电系统及设计》《机械系统概念设计》《机械系统的振动设计及噪声控制》《疲劳强度设计机械可靠性设计》《数字化设计》《工业设计与人机工程》《智能设计仿生机械设计》。

本单行本为《微机电系统及设计》，主要介绍了微机电系统概述、微机电系统制造、微机电系统设计、微机电系统实例等内容。

本书供从事机械设计、制造、维修及有关工程技术人员作为工具书使用，也可供大专院校的有关专业师生使用和参考。

机械设计手册 微机电系统及设计 目录

出版说明
前言

第28篇微机电系统及设计

第1章微机电系统概述

1基本概念28-3

1?1微传感器28-3

1?2微执行器和微结构28-3

1?3微机电系统的基本特征28-4

1?4微机电系统技术和微电子技术的比较28-4

2微机电系统发展历程28-4

3微机电系统及相关技术28-5

3?1微机电系统组成28-5

3?2微机电系统设计28-6

3?3微机电系统制造28-6

3?4微机电系统封装28-7

3?5微装配28-8

3?6系统封装（SiP）28-8

3?7微机电系统可靠性28-9

3?8微机电系统测试28-9

4微机电系统应用领域28-10

4?1微机电系统在汽车中的应用28-10

4?2微机电系统在医疗和生命科学领域中的
应用28-11

4?3微机电系统在电信领域中的应用28-11

第2章微机电系统制造

1体硅微机械加工技术28-12

1?1硅晶体的描述28-12

1?2各向同性腐蚀28-12

1?3各向异性腐蚀28-13

1?3?1不同腐蚀液中的腐蚀速率28-13

1?3?2腐蚀速率与温度的关系28-14

1?3?3腐蚀速率与腐蚀液含量的关系28-15

1?3?4腐蚀速率与衬底掺杂浓度的
关系28-15

1?3?5不同腐蚀液中的腐蚀表面状况28-16

1?3?6各向异性腐蚀加工技术中的凸角
补偿方法28-16

1?4深反应离子刻蚀28-17

1?4?1刻蚀原理28-17

1?4?2载片台温度与SF6/O2配比的
影响28-18

1?4?3SF6流量与ICP功率的影响28-19

1?4?4滞后效应和凹缺效应28-19

1?4?5深反应离子刻蚀工艺优化28-20

1?5硅直接键合技术28-21

1?5?1硅直接键合技术的分类28-21

1?5?2键合前的清洗28-22

1?5?3键合表面的活化28-23

1?5?4平整度对键合的影响28-23

1?5?5键合后的热处理28-24

1?5?6键合质量的表征28-24

2表面微机械加工技术28-26

2?1表面微机械加工的薄膜材料及
其特性28-26

2?1?1多晶硅28-26

2?1?2氧化硅28-28

2?1?3氮化硅28-30

2?1?4碳化硅28-30

2?1?5其他表面微机械加工材料28-31

2?2牺牲层释放腐蚀技术28-31

2?2?1氧化硅牺牲层的腐蚀28-31

2?2?2黏附问题及其解决方案28-33

2?3标准化的表面微机械加工工艺28-36

2?3?1MUMPS加工工艺28-36

2?3?2SUMMiTTM?V加工工艺28-36

3玻璃微机械加工技术28-37

3?1湿法刻蚀28-37

3?2干法刻蚀28-38

3?3阳极键合28-39

3?4模具成型28-40

3?5其他加工方法28-42

4UV?LIGA技术28-42

4?1工艺流程28-43

4?2去胶工艺28-45

4?3SU?8胶光学特性28-47

4?4SU?8胶其他特性28-48

5其他微机械加工技术28-48

5?1激光微加工技术28-48

5?2电火花微加工技术28-50

5?3热压微成型技术28-51

5?4注射微成型技术28-52

6微机电系统制造工艺优化28-53

6?1常用材料的刻蚀特性28-53

6?2微机电系统加工技术比较28-60

6?3工艺设计及优化28-61

目录
目录
第3章微机电系统设计

1设计工具28-64

1?1CoventorWare简介28-64

1?2CoventorWare设计实例28-65

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