微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列硅MEMS工艺与设备基础
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微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列硅MEMS工艺与设备基础作者：阮勇 开 本：其他 书号ISBN：9787118117400 定价：160.0 出版时间：2018-12-01 出版社：国防工业出版社 |
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