8.4.1质量加载129
8.4.2气体传感130
8.4.3聚合物表征131
8.4.4FPW设备的性能极限132
8.5结论132
参考文献133
第9章耳语画廊微腔传感135
9.1引言135
9.2耳语画廊微谐音器的基础135
9.3微腔的材料138
9.4微腔的结构138
9.4.1二氧化硅微球140
9.4.2微盘140
9.4.3二氧化硅微型环芯141

9.4.4双盘微型谐振器141
9.4.5硅环谐振器141
9.4.6液芯光环谐振器141
9.4.7瓶颈微谐振器141
9.4.8二氧化硅微泡谐振器142
9.5反应敏感142
9.6参考干涉仪检测144
9.7分频检测145
9.8等离子体激增147
9.9光机械传感148
9.10利用二次谐波生成进行感测149
9.11结论和未来研究149
参考文献150
第10章动态纳米约束的耦合化学反应:Ⅲ蚀刻轨道及其前体结构中Ag2O膜的电子表征153
10.1引言153
10.2试验153
10.2.1形成具有嵌入式Ag2O膜的蚀刻轨道153
10.2.2电子表征154
10.3电子表征在PET箔蚀刻轨道内的Ag2O膜的形成过程:结果和讨论155
10.3.1电流/电压谱155
10.3.2伯德图160
10.3.3傅里叶光谱161
10.3.4四极参数162
10.4总结165
参考文献166
第11章走向无监督的智能化学传感器阵列168
11.1引言168
11.2智能化学传感器阵列169
11.2.1电位传感器169
11.2.2电位传感器的选择性问题169
11.2.3化学传感器阵列170
11.3盲源分离170
11.3.1问题描述171
11.3.2盲源分离的执行策略171
11.3.3非线性混合173
11.4盲源分离方法在化学传感器阵列中的应用174
11.4.1**个结果174
11.4.2不同价情况下的基于独立成分分析的分析方法174
11.4.3使用先念信息估计电极的斜率176
11.4.4贝叶斯分离在化学传感器阵列中的应用176
11.5实用问题178
11.5.1尺度歧义的处理178
11.5.2ISEA数据库179
11.6结论179
参考文献179
第12章金属氧化物半导体气体鉴别传感器中的沸石转化层181
12.1引言181
12.1.1MOS简介181
12.1.2气体相互作用模型:p型传感器响应18212.1.3等效电路模型182
12.1.4丝网印刷183
12.1.5什么是沸石183
12.1.6在该领域工作的其他团体184
12.2实验准备184
12.2.1材料的制作184
12.2.2材料表征185
12.2.3传感器特性和测试186
12.2.4相关理论:扩散反应建模187
12.3测试结果188
12.3.1增加识别度188
12.3.2分析物调谐的气体传感器:乙醇189
12.3.3分析物调谐的气体传感器:二氧化氮190
12.3.4测试结果的扩散反应建模191
12.4讨论192
12.4.1实验结果192
12.4.2实验结果的扩散反应建模194
12.5结论196
参考文献196
第3部分汽车及工业传感器
第13章微机械非接触式悬浮装置198
13.1引言198
13.2基于非接触式悬浮的微机械动力调谐陀螺仪201
13.2.1动力学模型及工作原理201
13.2.2数学模型203
13.2.3特定情况下的模型分析205
13.3零性系数的悬浮209
13.3.1悬浮的运动学特性及工作原理209
13.3.2数学模型210
13.3.3稳定悬浮的条件212
13.3.4弹性系数的补偿215
参考文献217
第14章汽车、消费和工业应用中的非接触角度检测219
14.1引言219
14.2非接触式电位计的应用220
14.2.1汽车行业中的应用220
14.2.2工业应用22114.2.3消费应用221
14.3非接触角度检测技术222
14.3.1光学传感器222

14.3.2电容传感器222
14.3.3感应传感器223
14.3.4霍尔效应传感器223
14.3.5磁敏感晶体管和MAGFET223
14.3.6磁阻223
14.3.7各向异性磁阻传感器224
14.3.8巨磁阻传感器224
14.4案例研究:基于巨磁阻传感器的非接触式电位计224
14.4.1非接触式电位计的物理布置225
14.4.2巨磁阻传感器桥226
14.4.3传感器误差和温度补偿227
14.4.4放大和电气误差补偿228
14.4.5传感器信号线性化230
14.4.6测量结果和性能比较235
14.5结论238
参考文献239
第15章用于安全应用的电容式传感器241
15.1引言:目的、目标和现状241
15.2电容测量242
15.2.1电容测量中的物理学特性242
15.2.2应用示例242
15.2.3在开放环境中的寄生效应246
15.2.4屏蔽与耦合248
15.3测量电路及模式249
15.3.1应用示例中的测量系统250
15.3.2不同的方法:电容层析成像252
15.4测量系统254
15.4.1评估电路的设计254
15.4.2与*先进的电容式传感器的比较255
15.4.3机器手臂上高反应性接近度检测传感器的测量258
15.5结论260
参考文献261
第16章保形微机电传感器265
16.1引言265
16.2保形微机电传感技术26616.3制造方法267
16.4封装268
16.5设计和特殊考虑270
16.6保形微机电传感器的例子270
16.6.1温度传感器270
16.6.2压力/力/触觉传感器271
16.6.3绝对压力传感器273
16.6.4加速度计273
16.7结论和未来的方向275
参考文献275
第17章射频毫米波模拟电路的嵌入式温度传感器表征279
17.1引言279
17.2用于射频电路测试的温度监测的物理原理280
17.3模拟电路的电气性能与温升产生之间的关系285
17.4温度感测策略:差分温度传感器287
17.5实验例子291
17.6结论294
参考文献295
第4部分软件和传感器系统
第18章多传感器系统的集成可靠性298
18.1背景和相关工作299
18.2容错筛选过程300
18.3*佳线性数据融合302
18.3.1问题描述302
18.3.2问题的确定解303
18.3.3精确度分析304
18.4实验设置和结果305
18.4.1具有温度传感器的系统配置305
18.4.2具有加速度计的系统配置306
18.4.3温度传感器的校准306
18.4.4加速度计的校准309
18.4.5准确度比较310
18.5总结和讨论313
参考文献313
第19章非静态干扰破坏信号模型的可用信号处理构建及干扰的检测与消除315

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