等离子体放电与材料工艺原理(第二版) 本书特色

本书反映了等离子体物理相关领域*的研究进展，深入阐述了等离子体物理和化学的基本原理。书中应用基本理论来分析各种常见等离子体源的放电状态，包括计算等离子体参数及分析等离子体参数与控制参数的相关关系。本书还讨论了半导体材料的刻蚀，薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，具有实际参考价值。全书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。

等离子体放电与材料工艺原理(第二版) 内容简介

近20年来，本书一直是加利福尼亚大学的授课教材。这本经典教材广泛、深入地描述了关于等离子体的基本概念和基本原理，阐述了各种放电条件下的低气压、低温等离子体中的主要物理和化学过程，分析了各种源的放电状态。本书还详细讨论了低温等离子体在半导体材料的刻蚀、薄膜沉积、离子注入等材料处理工艺方面的应用，介绍了不同应用中计算各种放电参数的方法，分析了这些参数与工艺效果之间的关系。

等离子体放电与材料工艺原理(第二版) 目录

第1章概述
1.1材料处理
1.2等离子体和鞘层
1.2.1等离子体
1.2.2鞘层
1.3放电
1.3.1射频二极放电系统
1.3.2高密度等离子体源
1.4符号和单位

第2章等离子体的基本方程和平衡态性质
2.1引言
2.2场方程、电流和电压
2.2.1麦克斯韦方程组
2.3守恒方程
2.3.1玻尔兹曼方程
2.3.2宏观量
2.3.3粒子数守恒方程
2.3.4动量守恒方程
2.3.5能量守恒方程
2.3.6小结
2.4平衡态性质
2.4.1玻尔兹曼关系式
2.4.2德拜长度
2.4.3准电中性
2.5习题

第3章原子碰撞
3.1基本概念
3.1.1弹性和非弹性碰撞
3.1.2碰撞参数
3.1.3微分散射截面
3.2碰撞动力学
3.2.1质心坐标系
3.2.2能量转移
3.2.3小角度散射
3.3弹性散射
3.3.1库仑碰撞
3.3.2极化散射
3.4非弹性碰撞
3.4.1原子能级
3.4.2电偶极辐射和亚稳态原子
3.4.3电子碰撞电离截面
3.4.4电子碰撞激发截面
3.4.5离子-原子电荷转移
3.4.6离子-原子碰撞电离
3.5分布函数下的平均值和表面效应
3.5.1麦克斯韦分布下的平均值
3.5.2每产生一个电子-离子对所造成的能量损失
3.5.3表面效应
3.6习题

第4章等离子体动力学
4.1基本运动
4.1.1在均匀稳定场中的运动
4.1.2E×B漂移
4.1.3能量守恒
4.2非磁化等离子体动力学
4.2.1等离子体振荡
4.2.2介电常数和电导率
4.2.3欧姆加热
4.2.4电磁波
4.2.5静电波
4.3导向中心运动
4.3.1平行力
4.3.2磁矩的绝热不变性
4.3.3沿磁力线运动产生的漂移（曲率漂移）
4.3.4由回旋运动产生的漂移（梯度漂移）
4.3.5极化漂移
4.4磁化等离子体动力学
4.4.1介电张量
4.4.2波的色散关系
4.5磁化等离子体中的波
4.5.1基本电子波
4.5.2包含离子运动的基本波
4.5.3CMA图
4.6波诊断
4.6.1干涉仪
4.6.2谐振腔微扰法
4.6.3波传播法
4.7习题

第5章扩散和输运
5.1基本关系式
5.1.1扩散和迁移率
5.1.2自由扩散
5.1.3双极性扩散
5.2扩散方程的解
5.2.1边界条件
5.2.2随时间变化的解
5.2.3稳态平行板解
5.2.4稳态圆柱形解
5.3低气压解
5.3.1变迁移率模型
5.3.2朗缪尔解
5.3.3经验归纳解
5.4在磁场中的扩散过程
5.4.1双极性扩散
5.5磁多极约束
5.5.1磁场结构分析
5.5.2等离子体约束
5.5.3泄漏宽度w
5.6习题

第6章直流鞘层
6.1基本概念和方程
6.1.1无碰撞鞘层
6.2玻姆鞘层判据
6.2.1对等离子体的要求
6.2.2预鞘层
6.2.3悬浮器壁的鞘层电位
6.2.4碰撞鞘层
6.2.5模拟结果
6.3高电压鞘层
6.3.1板形鞘层（Matrix Sheath）
6.3.2满足蔡尔德定律的鞘层
6.4鞘层形成的广义判据
6.4.1电负性气体
6.4.2具有多种正离子的等离子体
6.5高电压碰撞鞘层
6.6静电探针诊断
6.6.1无碰撞鞘层中的平面探针
6.6.2具有非麦克斯韦分布电子时的情况
6.6.3无碰撞鞘层中的圆柱形探针
6.6.4双探针和发射探针
6.6.5碰撞和直流磁场效应
6.6.6探针制作和探针电路
6.6.7随时间变化电场中的探针
6.7习题

第7章化学反应和平衡
7.1引言
7.2能量和焓
7.3熵和吉布斯自由能
7.3.1吉布斯自由能
7.4化学平衡
7.4.1气压和温度的影响
7.5异相平衡
7.5.1不同相之间的平衡

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