15.5.5电子阴影效应
15.5.6射频偏压
15.5.7刻蚀轮廓的畸变
15.6习题

第16章沉积与注入
16.1引言
16.2等离子体增强化学气相沉积
16.2.1非晶硅的沉积
16.2.2二氧化硅的沉积
16.2.3氮化硅的沉积
16.3溅射沉积
16.3.1物理溅射沉积
16.3.2反应溅射沉积
16.4等离子体浸没离子注入(PIII)
16.4.1无碰撞鞘层模型
16.4.2碰撞鞘层模型
16.4.3PIII方法在材料工艺中的应用
16.5习题

第17章尘埃等离子体
17.1物理现象的定性描述
17.2颗粒充电和放电平衡
17.2.1平衡电位和电荷
17.2.2放电平衡
17.3颗粒平衡
17.4尘埃颗粒的形成和生长
17.5物理现象及其诊断
17.5.1强耦合等离子体
17.5.2尘埃声波

等离子体放电与材料工艺原理(第二版) 作者简介

Michael Lieberman教授分别于1962年和1966年从麻省理工学院获得学士和博士学位。1966年起执教于加州大学伯克利分校电机系，从事等离子体方面的教学和科研。1971年获得伯克利分校的杰出教学奖。Lieberman教授是APS，AAAS，IEEE，AVS和IOP会士，并曾于1999年获得IEEE plasma science and application奖，于2005年获得von Engel奖，于2006年获得APS的Will ALLIS奖。他是国际上公认的低温等离子体领域权威之一，与Alan Lichtenberg合著的本书也成为低温等离子体领域最广泛使用的教材和科研用书。Allan Lichtenberg教授于1952年从哈佛大学获得学士学位，1957年从麻省理工学院获得硕士学位，1961年从牛津大学获得博士学位。1957年起执教于加州大学伯克利分校电机系。Lichtenberg教授是国际著名的高温等离子体、等离子体放电和非线性动力学领域的先驱，在相关领域发表了约150篇文章并撰写多本著作，其中包括Phase-Space Dynamics of Particles，该书已有俄文译本。Michael Lieberman教授分别于1962年和1966年从麻省理工学院获得学士和博士学位。1966年起执教于加州大学伯克利分校电机系，从事等离子体方面的教学和科研。1971年获得伯克利分校的杰出教学奖。Lieberman教授是APS，AAAS，IEEE，AVS和IOP会士，并曾于1999年获得IEEE plasma science and application奖，于2005年获得von Engel奖，于2006年获得APS的Will ALLIS奖。他是国际上公认的低温等离子体领域权威之一，与Alan Lichtenberg合著的本书也成为低温等离子体领域最广泛使用的教材和科研用书。Allan Lichtenberg教授于1952年从哈佛大学获得学士学位，1957年从麻省理工学院获得硕士学位，1961年从牛津大学获得博士学位。1957年起执教于加州大学伯克利分校电机系。Lichtenberg教授是国际著名的高温等离子体、等离子体放电和非线性动力学领域的先驱，在相关领域发表了约150篇文章并撰写多本著作，其中包括Phase-Space Dynamics of Particles，该书已有俄文译本。
Michael Lieberman教授分别于1962年和1966年从麻省理工学院获得学士和博士学位。1966年起执教于加州大学伯克利分校电机系，从事等离子体方面的教学和科研。1971年获得伯克利分校的杰出教学奖。Lieberman教授是APS，AAAS，IEEE，AVS和IOP会士，并曾于1999年获得IEEE plasma science and application奖，于2005年获得von Engel奖，于2006年获得APS的Will ALLIS奖。他是国际上公认的低温等离子体领域权威之一，与Alan Lichtenberg合著的本书也成为低温等离子体领域最广泛使用的教材和科研用书。Allan Lichtenberg教授于1952年从哈佛大学获得学士学位，1957年从麻省理工学院获得硕士学位，1961年从牛津大学获得博士学位。1957年起执教于加州大学伯克利分校电机系。Lichtenberg教授是国际著名的高温等离子体、等离子体放电和非线性动力学领域的先驱，在相关领域发表了约150篇文章并撰写多本著作，其中包括Phase-Space Dynamics of Particles，该书已有俄文译本。

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