衬底基片超精密加工技术 本书特色

近年来光电子材料超精密加工技术获得飞速发展。本书全面系统地讲述了光电子领域重要衬底材料——蓝宝石衬底基片的超精密加工技术。内容包括：蓝宝石晶体生长技术、蓝宝石晶体切片技术、蓝宝石衬底基片倒角技术、衬底基片精密研磨技术、衬底基片精密抛光技术、衬底基片净化技术、衬底基片检测技术。本书详细介绍了蓝宝石衬底基片从晶体生长到可用于外延生长的衬底基片的工艺全过程。本书不仅阐述了蓝宝石衬底基片的超精密加工基本原理，而且结合具体加工设备，分析了蓝宝石衬底基片超精密加工工艺参数，同时介绍了国内外**的发展和成就。《BR》　　本书是一部全面、系统地介绍衬底基片超精密加工技术研究成果的专著，总结了作者二十多年来在该领域的研究成果。

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