超快激光微纳加工:原理.技术与应用 本书特色

本书详细介绍了飞秒激光微纳加工技术所涉及的原理及相关应用，共有八个章节。*章主要介绍飞秒激光微纳加工的原理，包括飞秒激光与物质（介质）相互作用的原理，飞秒激光在透明介质中的传输理论，飞秒激光微纳加工的机理及特性等；第二章主要介绍飞秒激光技术，包括飞秒激光的产生与发展，飞秒激光在材料加工中的应用等；第三章主要介绍飞秒激光光束整形技术，包括时域聚焦脉冲整形（技术）、狭缝整形等技术的原理及其在（飞秒）微纳加工中的应用；等

超快激光微纳加工:原理.技术与应用 目录

丛书序
序言
前言
第1章 超快激光加工概述001
1.1超快激光加工介绍001
1.2超快激光加工的特点002
1.2.1热影响区的抑制002
1.2.2降低等离子体屏蔽003
1.2.3多光子吸收003
1.2.4材料内部改性004
1.2.5电介质中的载流子激发004
1.2.6超快激光加工的空间分辨率004
1.3超快激光材料处理005
1.3.1表面微加工005
1.3.2表面微纳结构制备007
1.3.3纳米烧蚀008
1.3.4双光子聚合009
1.3.5透明材料的内部改性010
1.3.6生物医学应用012
1.3.7工业和商业应用013
参考文献014
第2章 超快激光技术简介021
2.1超快激光技术021
2.1.1掺钛蓝宝石激光器021
2.1.2啁啾脉冲放大技术022
2.1.3飞秒光纤激光器023
2.1.4薄片激光器024
2.2飞秒激光脉冲诊断技术024
2.2.1飞秒脉冲的自相关测量025
2.2.2频率分辨光学开关法025
2.2.3自参考光谱相位相干电场重建法026
2.3飞秒激光材料加工技术028
2.3.1飞秒激光直写技术028
2.3.2飞秒激光并行微纳加工技术029
2.4飞秒激光脉冲整形技术031
2.4.1飞秒激光脉冲的时域整形技术031
2.4.2飞秒激光脉冲的空间整形技术032
2.4.3飞秒激光脉冲的时空整形技术033
2.4.4飞秒激光脉冲的偏振整形033
参考文献034
第3章 超快激光脉冲时空整形039
3.1飞秒脉冲时域整形039
3.1.1飞秒脉冲整形简介039
3.1.2双/多脉冲加工044
3.1.3脉冲时域自适应控制045
3.2飞秒光束空间整形047
3.2.1激光直写截面控制047
3.2.2多光束并行处理049
3.2.3自适应光束空间整形050
3.3飞秒激光时空聚焦051
3.3.1时空聚焦原理简介051
3.3.2时空聚焦三维各向同性直写052
3.3.3时空聚焦三维光刻054
3.3.4脉冲前沿倾斜和焦面强度倾斜055
3.4光束整形加工应用举例056
3.4.1无衍射光束加工056
3.4.2脉冲偏振整形加工058
3.4.3飞秒激光超分辨加工059
参考文献060
第4章 超快激光对材料的表面处理065
4.1飞秒激光加工薄膜材料065
4.1.1飞秒激光对薄膜材料的烧蚀065
4.1.2薄膜表面的微凸起结构067
4.2材料表面的钻孔与切割068
4.2.1表面钻孔068
4.2.2表面切割069
4.3飞秒激光诱导表面周期结构070
4.3.1飞秒激光诱导表面周期结构的特点070
4.3.2飞秒激光诱导表面周期性结构的形成机理073
4.4硅表面微锥结构074
4.5飞秒激光诱导表面微纳米结构的应用076
4.5.1材料表面光学特性调控076
4.5.2表面浸润特性调控080
4.5.3生物化学应用082
参考文献083
第5章 基于双光子聚合的飞秒激光三维直写089
5.1双光子聚合的原理089
5.2双光子聚合的分辨率091
5.3材料的功能化093
5.4光学元件的加工095
5.5微纳机械的加工097
5.6微流体器件的加工098
5.7医学和生物组织工程中的应用099
5.8三维金属微纳结构的加工101
参考文献102
第6章 透明介电材料内部的三维光子学集成106
6.1利用飞秒激光实现透明介电材料内部改性的原理概述106
6.2透明材料内部中三维光波导的制备107
6.2.1制作波导的影响因素108
6.2.2波导的制作方式110
6.2.3不同材料110
6.3光子器件的制备114
6.3.1分束器114
6.3.2定向耦合器115
6.3.3马赫曾德尔干涉仪115
6.3.4频率转换器117
6.3.5有源光子器件117
6.3.6集成量子光子回路118
6.3.7其他微光学器件120
6.4高品质光学微腔121
6.4.1在玻璃上制备高品质的光学微腔122
6.4.2制备高品质的晶体微腔123
参考文献125
第7章 飞秒激光直写制备微流控芯片和集成光流器件134
7.1飞秒激光辅助湿法化学刻蚀制备微流结构135
7.2水辅助飞秒激光直写制备微流结构139
7.3水辅助飞秒激光直写制备纳流结构144
7.4飞秒激光直写实现光流控集成146
7.4.1自由空间微光学元件和微流控系统的集成146
7.4.2光波导和微流控系统的集成149
7.4.3集成芯片在生物医学研究中的应用150
参考文献152
第8章 超快激光加工在现代工业中的应用158
8.1表面处理158
8.1.1抗摩擦损耗结构158
8.1.2浮雕和成型模具159
8.1.3光电子功能性修饰161
8.2高精度钻孔162
8.3精密切割165
8.3.1透明介质165
8.3.2半导体和金属165
8.3.3危险化学物品167

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