集束型晶圆制造装备调度及其优化算法 本书特色

本书以半导体集束型装备为研究对象，在全面分析其调度特点的基础上，详细解剖、分析半导体集束型装备各类调度问题，建立了调度模型并运用智能化方法设计了相应的求解方案。本书在认真总结国内外多年的半导体集束型装备调度研究成果的基础上，结合作者多年在生产调度，特别是半导体集束型装备领域的研究与应用成果，对复杂的半导体集束型装备调度问题从理论到方法再到应用进行了全方位、系统化的论述。

集束型晶圆制造装备调度及其优化算法 目录

目 录

第1章 绪 论 1
1.1 半导体装备制造产业的战略意义 1
1.2 半导体制造工艺简介 4
1.3 集束型晶圆制造装备的高度复杂性 8
1.4 制造系统调度简介 13
1.4.1 车间调度 14
1.4.2 机器人制造单元调度 16
1.4.3 抓钩调度 19
1.5 集束型装备调度 21
1.5.1 基本概念 21
1.5.2 调度资源 23
1.5.3 约束条件 24
1.6 集束型晶圆制造装备调度分类 25
1.6.1 基于调度类型的分类方法 25
1.6.2 基于三邻域（α?Oβ?Oγ）的分类方法 27
1.6.3 基于调度环境和任务的分类方法 28
本章参考文献 29
第2章 集束型晶圆制造装备的建模方法 36
2.1 基于马尔科夫模型的集束型装备建模 36
2.1.1 马尔科夫模型基础理论 37
2.1.2 集束型装备马尔科夫建模过程 38
2.2 基于数学规划模型的集束型装备建模 39
2.2.1 数学规划模型基本理论 40
2.2.2 集束型装备数学规划建模过程 41
2.3 基于时序图模型的集束型装备建模 43
2.3.1 时序图模型基础理论 43
2.3.2 集束型装备时序图建模过程 44
2.4 基于Petri网模型的集束型装备建模 48
2.4.1 Petri网模型基础理论 48
2.4.2 集束型装备Petri网建模过程 54
2.5 基于仿真模型的集束型装备建模 58
2.5.1 仿真模型的基本理论 59
2.5.2 集束型装备仿真建模过程 61
2.6 小结 66
本章参考文献 66
第3章 集束型晶圆制造装备的调度方法 71
3.1 基于运筹学方法的集束型装备调度 71
3.1.1 运筹学方法概述 72
3.1.2 混合整数规划在集束型装备调度中的应用 79
3.1.3 分支定界算法在集束型装备调度中的应用 88
3.2 基于多项式算法的集束型装备调度 94
3.2.1 多项式算法概述 94
3.2.2 多项式算法在集束型装备调度中的应用 97
3.3 基于启发式方法的集束型装备调度 99
3.31 启发式方法概述 100
3.3.2 启发式方法在集束型装备调度中的应用 105
3.4 基于智能优化方法的集束型装备调度 107
3.4.1 智能优化方法概述 108
3.4.2 智能优化方法在集束型装备调度中的应用 118
3.5 小结 120
本章参考文献 121
第4章 集束型晶圆制造装备的重入和混流调度 129
4.1 引言 129
4.2 重入调度的混合整数规划模型 130
4.2.1 问题描述 130
4.2.2 约束条件分析 132
4.2.3 仿真 136
4.3 混流调度的混合整数规划模型 138
4.3.1 调度问题 139
4.3.2 混合整数规划模型 141
4.3.3 生产周期下界分析 144
4.3.4 仿真 148
4.4 小结 151
本章参考文献 151
第5章 集束型晶圆制造装备的多机械手调度 154
5.1 引言 154
5.2 基于分解方法的两集束型装备调度 155
5.2.1 符号定义和问题描述 155
5.2.2 问题的分解分析和模型的建立 157
5.2.3 机械手在缓冲模块无碰撞的判断条件 159
5.2.4 基于分解方法和线性规划模型的搜索算法 161
5.2.5 仿真 162
5.3 有滞留时间约束的两集束型装备调度模型 164
5.3.1 符号定义和问题描述 164
5.3.2 集束型装备的混合整数规划模型 166
5.3.3 并行加工模块 168
5.3.4 仿真 169
5.4 求解k晶圆周期序列的多集束型装备调度 173
5.4.1 符号定义和问题描述 174
5.4.2 k序列的平均周期下界 175
5.4.3 k序列的构造策略 177
5.4.4 仿真 182
5.5 小结 191
本章参考文献 192
第6章 集束型晶圆制造装备的滞留时间约束调度 194
6.1 引言 194
6.2 单臂机械手集束型装备可调度性与调度 195
6.2.1 问题描述 195
6.2.2 并行加工模块加工时间的等效性证明 197
6.2.3 可调度性分析 199
6.2.4 仿真 201
6.3 双臂机械手集束型装备可调度性与调度 203
6.3.1 符号定义和问题描述 203
6.3.2 有晶圆滞留时间约束的线性规划模型 204
6.3.3 集束型装备的可调度性分析 205
6.3.4 仿真 207
6.4 单臂机械手的集束型装备启发式搜索方法 211
6.4.1 问题描述 212
6.4.2 调度模型 213
6.4.3 基于线性规划模型和冲突控制策略的启发式搜索方法 214
6.4.4 仿真 216
6.5 基于分解思想的多集束型装备启发式调度方法 217
6.5.1 问题描述和定义 217
6.5.2 周期性调度过程分析 218
6.5.3 启发式调度方法 219
6.5.4 仿真 220

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