6.6 基于遗传算法的集束型装备调度方法 222
6.6.1 问题描述和调度问题 222
6.6.2 改进遗传算法 224
6.6.3 仿真 228
6.7 小结 230
本章参考文献 231
第7章 集束型晶圆制造装备的应急调度 234
7.1 引言 234
7.2 基于PSO的启发式调度方法 236
7.2.1 调度问题描述和数学模型 236
7.2.2 基于前向和后向递归方法的内层算法 237
7.2.3 微粒群算法优化算法分析 242
7.2.4 基于微粒群算法的两层在线调度方法 245
7.2.5 仿真 247
7.3 基于量子进化算法的在线调度方法 250
7.3.1 在线调度问题 250
7.3.2 在线调度方法 251
7.3.3 外层量子进化算法 253
7.3.4 仿真 256
7.4 小结 258
本章参考文献 259
第8章 基于SEMI标准的集束型晶圆制造装备控制平台 261
8.1 引言 261
8.2 CTC控制软件概述 262
8.2.1 国内外半导体制造自动化公司 262
8.2.2 SEMI协会和SEMI标准 264
8.3 实时调度系统框架模型 266
8.3.1 基于SEMI标准的CTC控制软件 266
8.3.2 实时调度系统框架模型 267
8.4 实时调度系统的监督控制层 268
8.4.1 扩展有限状态机 269
8.4.2 基于EFSM的调度控制逻辑模型 269
8.5 基于CTMC标准的实时调度系统模块管理层 272
8.5.1 作业分解过程 272
8.5.2 基于CTMC的作业执行 273
8.6 数据通信协议的分析与设计 276
8.6.1 通信协议简介 276
8.6.2 通信协议设计 308
8.6.3 通信协议开发 311
8.6.4 通信协议实现 316
8.7 模块控制器层 320
8.7.1 加工模块控制器软件架构 320
8.7.2 模块控制器层模型 321
8.8 实时调度系统的测试与验证 321
8.8.1 测试和验证过程概述 322
8.8.2 测试和验证系统需求分析 322
8.8.3 测试和验证系统实现 323
8.9 小结 326
本章参考文献 326

集束型晶圆制造装备调度及其优化算法 作者简介

李林瑛，中科院沈阳自动化研究所博士，现为大连外国语大学软件学院副教授。曾主持辽宁省教育厅科学研究一般项目“带滞留与资源约束的集束型晶圆制造装备调度模型与算法研究”；大连外国语大学科研项目“集束型装备优化调度问题研究”；“计算机科学与技术专业课程体系改革”等多项科研及教研项目。

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