6.2.2  设计规则检查技术
    6.2.3  工艺规则检查技术
    6.2.4  材料数据库构建技术
  6.3  mems工艺级几何仿真技术
    6.3.1  工艺编辑器技术
    6.3.2  工艺过程动态可视化技术
    6.3.3  任意区域版图的实时三维可视化技术
  参考文献
第7章  mems集成设计工具转换接口构建技术
  7.1  引言
  7.2  系统级到工艺级转换技术
  7.3  系统级到器件级转换技术
  7.4  器件级到工艺级转换技术
  7.5  器件级到系统级转换技术
  7.6  工艺级到器件级转换技术
  7.7  工艺级到系统级转换技术
  参考文献
第8章  mems garden及使用
  8.1  引言
  8.2  mems garden软件框架
  8.3  mems garden特色
  8.4  软件操作实例
  8.5  工程的创建
  8.6  系统级仿真
  8.7  器件级仿真
  8.8  含降阶宏模型的系统级仿真
    8.8.1  矩阵输出
    8.8.2  降阶宏模型生成
    8.8.3  系统级仿真
  8.9  工艺级设计
  参考文献
第9章  mems garden器件设计实例
  9.1  引言
  9.2  微机械扭转镜
  9.3  谐振式压力传感器
  9.4  压阻式压力传感器
  9.5  浮动式剪应力传感器
  9.6  热敏剪应力传感器
  9.7  合成射流器
  9.8  细胞分选微网筛
  9.9  z轴微机械陀螺
  9.10  微机械加速度计
  9.11  mems光开关
  缩略语  

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