真空装置 本书特色

本书全面系统地阐述了真空装置的定义、分类及基本组成。全书分7章，主要内容有：真空装置概述、真空装置容器、真空抽气机组、真空泵、真空阀门、真空测量及装置的控制系统、真空装置常用制造工艺。 本书将理论与实践有机结合，适用于从事真空工程设计的专业技术人员、设备操作与维护人员阅读，也适合从事与真空技术相关的科研人员以及大专院校相关专业师生阅读参考。

真空装置 内容简介

真空装置广泛的应用于各领域。例如，常见的真空蒸发镀膜装置，它在真空容器内必须配置蒸发源（或称蒸发舟）、膜材、基片、基片架、基片加热电源等；仅就在轻工、日用品、玩具等方面，真空蒸镀铝、制作镜子、包装纸、装饰陶瓷瓷品、玩具、人造宝石、钮扣、雕塑品等，以改善人们的生活需求。又例如，航天科技应用的各种空间环境模拟设备，以km6载人航天器空间环境模拟设备为例，由于该设备是供载人飞船、空间站、大型应用卫星作热平衡、热真空试验所用。特别是离子束刻蚀机作为典型的真空装置所涉及的技术问题，由于属于材料原子级加工的一种新工艺，一旦被人们所掌握，就意味着人类在微观世界实现控制加工的一个突破。它将有力地推动微电子技术、光子技术、表面科学、应用声学、材料科学、真空科学技术等向前发展。

真空装置 目录

第1章概论11.1真空装置11.2真空装置的特点11.3真空装置的分类21.4真空装置的组成41.4.1真空容器（真空室）41.4.2真空泵51.4.3抽气机组51.4.4真空测量51.5真空装置典型实例6第2章真空装置容器142.1概述142.2真空室的门152.3真空室的冷却162.4真空室的观察窗172.4.1观察窗基本类型182.4.2观察窗设计要点202.4.3真空设备常用观察窗标准212.5真空室的电极引入222.5.1电极引入部件密封设计要求222.5.2电极的结构形式232.5.3部标陶瓷金属封接电极(sj 1775—81)292.5.4国产陶瓷-金属封接电极302.6真空室强度计算312.6.1真空室强度计算一般知识312.6.2真空室壳体设计342.6.3圆筒体加强圈的设计502.6.4封头强度计算552.6.5开孔加强设计632.6.6法兰及管道设计70第3章真空装置抽气系统773.1真空装置抽气系统基本参数773.1.1极限压力773.1.2工作压力783.1.3有效抽速793.1.4抽气时间813.2真空系统设计863.2.1选泵及配泵863.2.2真空系统设计计算实例893.3低真空抽气机组设计943.3.1低真空机组的特点943.3.2除尘器943.3.3低真空机组典型实例963.4高真空系统及抽气机组983.4.1高真空系统特点983.4.2储气罐预抽泵设计993.4.3高真空机组主要形式1003.5超高真空系统及抽气机组1053.5.1超高真空系统特点1053.5.2超高真空系统设计要点1053.5.3超高真空抽气机组1073.5.4兰州物理研究所对超高真空系统的研究1123.6极高真空系统1133.6.1概述1133.6.2极高真空系统设备研究1143.6.3极高真空系统运转规范1163.6.4试验结果与讨论117第4章真空泵1194.1概述1194.1.1真空泵的分类1194.1.2真空泵的技术术语、用途和使用范围1204.1.3真空泵的型号及规格表示法1224.2往复式真空泵1244.2.1概述1244.2.2工作原理1244.2.3结构特点1254.2.4主要性能参数1264.2.5国家规定的往复泵型式与基本参数（摘自jb/t 7675—95）1314.2.6往复泵的使用与维护1314.3液环式真空泵1324.3.1概述1324.3.2工作原理1334.3.3液环泵的基本类型与结构1344.3.4液环泵的基本参数1354.3.5液环泵型式与基本参数（摘自gb/t 7255—94）1374.3.6液环泵使用与维护1374.4油封式旋转机械真空泵1384.4.1概述1384.4.2工作原理1394.4.3结构特点1414.4.4性能参数1454.4.5型号与基本参数（摘自jb/t 6533—97、jb/t 1246—97）1494.4.6泵的运行和维护1504.5罗茨式真空泵1534.5.1概述1534.5.2工作原理1544.5.3结构特点1554.5.4罗茨泵的主要性能参数1574.5.5zj型罗茨泵的基本参数(摘自zb/t 7674—95)1604.5.6罗茨泵的使用与维护1614.6涡轮分子泵1624.6.1概述1624.6.2涡轮分子泵的工作原理1634.6.3涡轮分子泵基本结构组成及特点1664.6.4涡轮分子泵工作特性1674.6.5涡轮分子泵基本参数(摘自jb/t 9125—1999)1684.6.6涡轮分子泵的使用1694.7油扩散喷射真空泵1704.7.1概述1704.7.2结构原理1714.7.3油扩散喷射真空泵的抽气特性1724.7.4油扩散喷射真空泵的设计计算1734.7.5国产z型系列及wz系列油扩散喷射真空泵主要技术性能、特性曲线及外形尺寸1784.7.6油扩散喷射泵的运转1834.7.7油扩散喷射泵的使用与维护1864.8油扩散泵1874.8.1概述1874.8.2油扩散泵的工作原理1884.8.3油扩散泵的结构形式和特点1894.8.4油扩散泵的性能参数1934.8.5用油扩散泵获得超高真空的方法1974.8.6油扩散泵的使用与维护1984.9低温泵2004.9.1概述2004.9.2低温泵的抽气原理和分类2004.9.3低温泵的性能参数2024.9.4现代低温泵的结构及设计2084.9.5低温泵的选型方法2154.10溅射离子泵2164.10.1概述2164.10.2溅射离子泵的基本结构和工作原理2174.10.3溅射离子泵的改进2194.10.4溅射离子泵的工作特性2214.10.5溅射离子泵的使用维护2234.11钛泵2244.11.1概述2244.11.2钛升华泵工作原理2254.11.3钛升华器的结构2264.11.4电离升华泵2284.11.5钛泵的使用和维护230第5章真空阀门2315.1概述2315.2真空阀门的设计与计算要点2365.2.1对真空阀门的基本要求2365.2.2真空阀门的设计步骤2375.2.3真空阀门的密封2375.2.4真空阀门压紧装置及设计计算2425.2.5阀盖传动机构2445.3真空装置常用的真空阀门2495.3.1真空插板阀2495.3.2高真空挡板阀2545.3.3高真空蝶阀2615.3.4电磁真空阀2705.3.5真空隔膜阀2795.3.6真空微调阀2865.3.7真空放气阀2885.3.8玻璃真空活塞2935.3.9典型各类真空阀门结构形式299第6章真空装置自动控制3086.1概述3086.1.1真空装置控制3086.1.2真空自动控制系统的分类3086.1.3自动控制系统的性能指标3096.1.4自动控制系统的分析方法3106.2自动控制元件及装置3116.2.1真空继电器3116.2.2真空计3126.3真空装置自动控制系统3156.3.1概述3156.3.2继电器控制系统3156.3.3压力控制仪控制系统3166.3.4可编程控制器控制系统3186.3.5计算机控制系统321第7章真空装置中的常用制造工艺3257.1真空装置的清洗处理3257.1.1概述3257.1.2真空装置元件的清洗方法3267.1.3清洗的基本程序3337.1.4非金属材料的清洗3347.2真空装置材料的除气3357.2.1材料除气的基本方法3357.2.2玻璃及陶瓷材料的除气3397.2.3金属材料的除气3417.2.4电真空器件的除气3437.2.5超高真空装置的烘烤除气3447.2.6烘烤除气装置3467.3真空装置常用的焊接技术3467.3.1真空装置对焊接工艺的要求3467.3.2真空焊接的分类3467.3.3氩弧焊3477.3.4电子束焊3537.3.5真空钎焊3557.3.6真空扩散焊接3627.4真空装置金属——陶瓷封接技术3647.4.1陶瓷-金属封接材料3647.4.2陶瓷-金属封接形式3657.4.3陶瓷金属化封接3657.4.4真空直接钎焊封接3667.4.5金属-陶瓷钎焊应用实例368参考文献369

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