半导体芯片制造系统建模与优化调度控制 内容简介

本书在总结国内外研究发展现状的基础上，着重介绍作者多年来对半导体芯片制造系统建模、调度、产能规划等方面的研究成果。主要包括：半导体芯片制造系统的特点、生产调度控制的难点及国内研究现状，拓展型面向对象petri网的层次化建模方法，基于规则和基于模型的实时派工控制模型，res2仿真平台的基本架构及关键技术，基于随机规划的芯片制造系统产能规划方法，基于多规则组合的两阶段的多目标优化调度方法，基于问题分解的智能调度方法，动态瓶颈的调度策略及基于约束权重的动态在制品水平控制方法，时变多目标优化调度方法。
本书的主要读者对象是从事半导体芯片制造系统计划、调度控制等相关领域的研究人员以及芯片制造的生产管理和相关领域的工程技术人员。此外，本书对于那些从事其他制造系统研究和从事生产管理的人员也具有参考价值。

半导体芯片制造系统建模与优化调度控制 目录

第1章 半导体芯片制造概述
1.1 概述
1.1.1 半导体产业概况
1.1.2 半导体晶圆制造系统特征
1.1.3 半导体晶圆制造系统调度现状
1.2 半导体晶圆制造系统简介
1.2.1 半导体晶圆制造过程
1.2.2 生产绩效指标
1.3 半导体晶圆制造系统建模研究
1.3.1 研究状况简介
1.3.2 建模方法小结
1.4 半导体晶圆制造系统调度方法
1.4.1 启发式规則
1.4.2 数学规划法
1.4.3 计算智能

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