二、绝缘样品的荷电补偿 328
第四节　定性与定量分析方法 328
一、定性分析 328
二、定量分析 335
第五节　方法应用 337
一、腐蚀科学：氧化皮的分析 337
二、电子材料表征 338
三、多相催化剂的研究 339
四、环境检测：气溶胶及汽车尾气颗粒表面成分分析 340
五、煤科学：煤表面成分及其赋存情况的表征 341
六、冶金：矿物浮选的研究 342
七、有机材料的表征 343
参考文献 344
第十三章　双聚焦二次离子质谱法 345
**节 一次离子源 345
一、双等离子体离子源 346
二、金属表面直接加热电离源--Cs＋ 347
三、液态金属离子源--Ga＋ 348
四、一次离子源的选择 348
第二节 离子光学 349
一、一次离子束的合轴和扫描 350
二、二次离子光路中的浸没透镜 350
第三节 二次离子发射机理 351
一、溅射产额 351
二、二次离子产额 356
第四节 质量分析器与离子检测系统 359
一、质量分析器 359
二、离子检测系统 360
第五节 二次离子质谱仪 362
一、双聚焦二次离子质谱仪的分类 362
二、IMS系列SIMS 363
三、样品需求 364
第六节 二次离子质谱法的功能 365
一、深度剖析 365
二、质谱分析--质量扫描 376
三、线扫描（二次离子质谱的横向线分析） 377
四、微区分析 378
五、三维分析 378
六、定量分析 379
第七节 二次离子质谱法的应用 381
一、宇宙尘埃质谱分析 382
二、深度剖析的应用 382
三、线扫描分析（金属中杂质氢的检测） 386
四、同位素分析-核燃料235U是否给周围环境带来放射性污染的检测 387
五、二次离子图像分析 389
六、绝缘样品的分析-杂质在SOI材料中的分布 390
七、硅中痕量硼二次离子质谱定量分析的异常现象 390
第八节 双聚焦二次离子质谱分析常用数据 392
一、检测限 392
二、溅射产额 399
三、质量干扰 400
四、相对灵敏度因子（RSF） 403
参考文献 413
第十四章　辉光放电质谱法 414
**节 方法原理 414
一、辉光放电的产生 414
二、样品的溅射和电离 415
三、质谱干扰 416
第二节 辉光放电质谱仪 416
一、质谱仪器 416
二、离子源 418
三、质量分析器 418
四、检测系统 418
第三节 实验方法及特点 420
一、样品制备与预处理 420
二、分析参数的选择与分析过程 420
三、分析特点 421
四、分析重现性 423
五、干扰峰的排除 425
第四节 半定量与定量分析 425
一、半定量分析 425
二、定量分析 425
第五节 方法应用 428
一、金属及半导体材料分析 429
二、非导体材料分析 431
三、深度分析 432
四、同位素丰度测量 433
五、测量用标准物质 433
参考文献 434
第十五章　同位素稀释质谱法 436
**节 基本原理 436
一、同位素稀释技术 436
二、双同位素稀释技术 438
第二节 使用仪器 439
一、高精度天平 439
二、质谱仪 439
第三节 实验方法 440
一、实验程序 440
二、稀释剂溶液的制备 441
三、*佳稀释比计算 441
四、混合样品的制备技术 442
五、同位素丰度测量 442
六、结果计算 442
第四节 制约测量值不确定度的主要因素 443
一、稀释剂的选择和混合样品的制备 443
二、混合样品的*佳稀释比 443
三、混合样品的均匀性 444
四、实验过程的流程空白 444
第五节 同位素稀释质谱法的应用 446
一、IDMS在核科学研究中的应用 446
二、IDMS在地学中的应用 448
三、IDMS在环境科学中的应用 449
四、在生命科学中的应用 453
五、高纯物质分析 454
六、IDMS在化学计量中的应用 455
参考文献 457


第四篇　辅 助 技 术
第十六章　样品制备技术 460
**节　质谱测量对样品的基本要求 460
第二节　水与酸的提纯 461
一、分析空白 461
二、水的提纯 461
三、酸的提纯 462
第三节　气体样品制备 469
一、样品预处理 469
二、气体样品制备实例 469
第四节　溶液样品制备 471
一、样品分解 471
二、直接稀释法 471
三、酸分解法 472
四、碱熔融法 474
五、样品的分离富集 474
第五节　固定样品制备 475
一、固体样品制备特点 475
二、固体样品制备实例 475
参考文献 476
第十七章　计算机在质谱分析中的应用 479
**节 数据采集与处理 479
一、离子信号的数据采集 479
二、质谱数据处理 482
第二节 控制仪器运行 486
一、仪器的基本控制 486
二、仪器的复杂控制 487
第三节 仪器的自动保护 488
一、高压保护 488
二、真空系统的保护 489
三、其他保护 489
第四节 仪器故障诊断 489
参考文献 490
第十八章　质谱分析误差 491
**节 有关误差的基本术语 491
一、误差的定义 491
二、误差的相关术语 491
三、统计的相关术语 491
四、误差的分类 492
第二节 分析误差 492
一、质量歧视效应 492
二、空间电荷效应 494
三、谱峰叠加的干扰 495
四、记忆效应 497
五、仪器的死时间 498
六、双电荷离子 498
七、非质谱干扰 498
第三节 测量值的不确定度 499
一、不确定度术语 499
二、A类标准不确定度评定 499
三、B类标准不确定度评定 502
四、合成标准不确定度 502
五、扩展不确定度 505
六、测量不确定度报告 506
第四节 测量值的校正 508
一、内部校正法 508
二、外部校正法 508
第五节 测量值的溯源性 509
一、溯源性的含义 509
二、化学测量的溯源性 509
三、同位素测量量值的溯源性 510
参考文献 511
第十九章　标准物质与质谱分析法 512

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