金属有机物气相外延-理论与实践-(第二版)

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金属有机物气相外延-理论与实践-(第二版)

金属有机物气相外延-理论与实践-(第二版)

作者:杰拉尔德.B.斯特林费洛

开 本:32开

书号ISBN:9787301275177

定价:91.0

出版时间:2016-10-01

出版社:北京大学出版社


 2.2 相图………………………………………………………………………… 34
 2.3 外延生长的热力学驱动力………………………………………………… 60
 2.4 固态组分………………………………………………………………… 65
 2.5 四元系……………………………………………………………………… 81
 2.6 表面热力学……………………………………………………………… 82
 参考文献………………………………………………………………………… 89
第三章 表面物理过程………………………………………………………… 99
 3.1 引言………………………………………………………………………… 99
 3.2 表面测量技术…………………………………………………………… 100
 3.3 表面特性的直接观测…………………………………………………… 105
 3.4 原子级生长过程………………………………………………………… 108
 3.5 表面过程对OMVPE生长的影响……………………………………… 122
 参考文献………………………………………………………………………… 126
第四章 源物质………………………………………………………………… 131
 4.1 引言……………………………………………………………………… 131
 4.2 II族源…………………………………………………………………… 140
 4.3 III族有机源…………………………………………………………… 141
 4.4 V 族有机源……………………………………………………………… 147
 4.5 VI族源…………………………………………………………………… 168
 4.6 金属有机掺杂源………………………………………………………… 173
 参考文献………………………………………………………………………… 175
第五章 动力学………………………………………………………………… 186
 5.1 背景……………………………………………………………………… 186

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