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金属有机物气相外延-理论与实践-(第二版)

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金属有机物气相外延-理论与实践-(第二版)

作者：杰拉尔德.B.斯特林费洛

开本：32开

书号ISBN：9787301275177

定价：91.0

出版时间：2016-10-01

出版社：北京大学出版社

　５．２　OMVPE生长过程……………………………………………………… １９４
　５．３　单相热解反应…………………………………………………………… １９７
　５．４　多相热解反应…………………………………………………………… ２４０
　５．５　有序……………………………………………………………………… ２４６
　参考文献……………………………………………………………………… ２５２
第六章　流体力学与质量输运……………………………………………… ２６２
　６．１　引言……………………………………………………………………… ２６２
　６．２　OMVPE的完全流体力学处理………………………………………… ２６３
　６．３　边界层模型……………………………………………………………… ２７１
　６．４　卧式OMVPE反应室近似分析方法…………………………………… ２７２
　６．５　反应室设计应用………………………………………………………… ２７６
　参考文献……………………………………………………………………… ２７７
第七章　OMVPE生长过程设计…………………………………………… ２７９
　７．１　OMVPE生长的综合模型……………………………………………… ２７９
　７．２　动力学限制的生长……………………………………………………… ２８２
　７．３　中等温度下所有气压范围内的生长过程……………………………… ３０１
　７．４　高温区…………………………………………………………………… ３０６
　７．５　II/VI族化合物的OMVPE生长……………………………………… ３０７
　７．６　总体工艺过程设计……………………………………………………… ３１５
　参考文献………………………………………………………………………… ３３１
第八章　OMVPE生长的材料……………………………………………… ３４０
　８．１　GaAs……………………………………………………………………… ３４０
　８．２　AlGaAs ………………………………………………………………… ３５２
　８．３　GaInAs,AlInAs和AlGaInAs ………………………………………… ３６０
　８．４　InP ……………………………………………………………………… ３６４

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